更新日： 集計期間:2026年02月18日～2026年03月17日
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現実の世界で起こる複雑な現象や、これから作ろうとする製品・システムの動作を、コンピュータ上で数学的なモデル（計算式）を用いて仮想的に再現し、その結果を予測・分析するためのソフトウェアです。例えば、自動車の衝突安全性、新薬の化学反応、気象の変動、工場の生産ラインの効率などを、実際に試作したり実験したりする前に、PC上で試行錯誤できます。開発コストの削減や期間短縮に大きく貢献します。
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CFDシミュレーションの3D結果を現実空間に表現！表現力の高いプレゼンテーションを実現
三機工業株式会社様へ、MR（Mixed Reality）システム『MREAL』を 導入した事例をご紹介いたします。 同社のご要望は「空調設計に欠かせないCFD(数値流体力学)シミュレーションの 結果をリアルに見える化したい。」「空調設計の専門知識が無い方とも、 十分な意思疎通を行い、的確な結論を導きたい。」等といったものでした。 導入後は「目には見えない空気の流れや温度分布を、現実空間の中で見える 化することができた。」「実感を伴う理解が加わり、発注者様との的確な 意思疎通とスピーディな決断が実現できた。」といった効果が得られました。 【事例概要】 ■導入企業：三機工業株式会社様 ■主な事業：ビル空調衛生事業、産業空調事業、電気事業、 スマートビルソリューション事業、ファシリティシステム事業、 機械システム事業、環境システム事業、不動産事業、技術研究所 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊なロボットでもCADデータを取り込むことが可能！キネマティクスを組み込んでご提供します。
『FRSim』は、実機レスで干渉チェックや運転プログラム作成が可能な ロボットシミュレーションソフトウェアです。 特殊なロボットでもCADデータを取り込むことが可能です。 (キネマティクスを組み込んでご提供) 例えば、自社開発した特殊機構のロボットのCADデータを取り込むことで、 これまで行えなかったシミュレーションが可能になります。 その他、ジグやワーク、台座、周辺オブジェクトもCADデータから取り込むことで実機を仮想で実現し、本番さながらのシミュレーションが可能です。 【特長】 ■ロボットCADデータの取り込み ■干渉チェック ■自動運転プログラム作成 ■工数の削減 ※近日リリース予定です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
様々なプラットフォームに対応！世界各国での幅広い分野での採用実績がございます
『EC-Master』は、組み込み(リアルタイム)オペレーティングシステム上での 動作に特化して最適化されたEtherCATマスタースタックソフトウェアです。 EtherCAT Master Class 指令(ETG1500)に完全準拠し、優れたポータブル性は、 オペレーティングやコンパイラへの非依存。 また、フットプリントは小さく、ファイルシステムも不要です。 【特長】 ■実装が容易 ■EtherCAT Master Class 指令(ETG1500)に完全準拠 ■様々なプラットフォームに対応 ■世界各国で幅広い分野での採用実績 ■Masterの二重化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
三菱電機ＰＬＣ ＭＥＬＳＥＣ-Ｑシリーズ対応ユニラインインターフェイス
従来方法では、PLCのＩ/Ｏカードにパラレル/シリアル変換器を装着して伝送ラインへと配線していましたが、MQ-HUWはスロットに直接装着できるため、より省スペース・省コストでＩ/Ｏネットワークの構築が実現できます。
分離の最適化をシンプルに！コンピューター上で分離の最適化をシミュレーションできるソフトウェアをご紹介。
分離を最適化するには手間と時間がかかります。そこでコンピューター上で分離を最適化をシミュレーションできるできる、Thermo Scientific Virtual Column Separation Simulator（バーチャルカラム）をご紹介します。
シミュレーションパッケージ。ウエットコーティングとドライプロセス。
様々なウエットコーティングとドライプロセスのシミュレーションパッケージ ■□■特徴■□■ ■コーティングの基礎について学習できる ■視覚モデルとアニメーションで簡単に使用可能 ■標準的なコーティングモデルとパラメータを選択・設定できる ■塗工液の固形分濃度、粘度、表面張力を変えてシミュレーションが可能 ■乾燥炉内のワーキングモデルを含んでいる ■ビデオチュートリアルで使用方法が簡単に理解可能 ■主要なコーティング関連文献の目録が付属している ■ウエブハンドリングシミュレーションでは、フイルムの種類も選択が可能 ■詳細については、カタログダウンロードもしくはお問い合わせ下さい。
製造現場から生まれた機械動作&切削加工の同時シミュレータ。試し削り不要で稼動率向上！
当社アイコクアルファ株式会社が開発販売を行う『G-Navi』は、 当社の航空機部品などの NC加工経験をもとに、「機械動作シミュレーション」と「切削加工シミュレーション」を統合した「統合NC切削加工シミュレーションシステム」です。 マニュアルプログラミングや、各種自動プロなどで作成したNCデータを入力することで実加工をバーチャルに再現。 また、ワーク、治具、工作機械の主軸、アタッチメント等の干渉をはじめとする不具合の事前確認ができます。 【製品特徴】 ■ 試し削りが不要となり、ＮＣ工作機械の稼動率が向上 ■機械衝突防止と切削形状を同時に検証 ■ ＮＣプログラムミスによる、ＮＣ工作機械や治具、工具の破損を防止 ■ 加工時間の正確な予測で、生産計画の精度が向上 ■工作機械メーカー様での営業ツールや開発ツールとしても採用実績 ※詳細は［PDFダウンロード］から資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
OOFELIE・Zemaxによる光学・熱・構造連成シミュレーション概要を掲載
当資料では、設計の実務に使い易い機能を搭載している「OOFELIE」と、 光学システム設計によく使われている使い易く強力なソフトウェアの 「Zemax」による光学・熱・構造連成シミュレーション概要を紹介してます。 その他にもOOFELIEの概要をはじめ、光学設計ソフトZemaxとの連携、 OOFELIEのGUI、OOFELIEの強みなどを掲載しています。 【掲載内容(抜粋)】 ■OOFELIEの概要 ■BEM活用例 ■試験によるシミュレーション精度検証例 ■Zemaxについて ■適用事例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
生産ライン等の生産性向上・最適化に適した物流シミュレーションソフトです。また、医療現場のレイアウトも可能です。
【名ばかりのシミュレーターは『適』をあけろ】 —―――部分最適・全体最適・快適—―――― FlexSimは、世界評価No.1の物流シミュレーションソフトウェアです。 生産ラインや物流現場、医療現場のレイアウトなどを現状の分析から課題を発見し、複数の改善案を数値・グラフなどで可視化することができるソフトウェアです。 コスト削減や人員不足への対応、医療現場の感染対策などの課題を解決し、工場の生産性・利益向上に貢献するベストソリューションです。 また、最新版『FlexSim2020』では、人と人とのソーシャルディスタンスを保ったうえでのシミュレーションを行うこともできます。 そのため、医療現場等にもより強く対応しています。
生産ラインや物流現場の生産性向上・最適化に適した物流シミュレーションソフトの体験版をどなたでもご利用いただけます！
【名ばかりのシミュレーターは『適』をあけろ】 —――部分最適・全体最適・快適—―― FlexSimは、世界評価No.1の物流シミュレーションソフトウェアです。 生産ラインや物流現場、医療現場のレイアウトなど、現状の分析から課題を発見し、複数の改善案を数値とグラフなどで可視化することができるソフトウェアです。 コスト削減や人員不足への対応、医療現場の感染対策などの課題を解決し、工場の生産性・利益向上に貢献するベストソリューションです。 FlexSim無料体験版をご希望の方は、下記リンクの弊社HP『資料請求』フォームよりご請求ください。 また、FlexSimの最新版『FlexSim2020』から、人同士のソーシャルディスタンスを保ったうえでのシミュレーションも搭載しています！ ◎弊社HPリンク
ヒト・モノの見える化/最適化検討を強力支援！ライバルには教えたくない、生産性向上ツール
『FlexSim』は、生産ラインや倉庫内の配置など、現状分析から 課題を発見し、複数の改善案を数値やグラフで可視化することが できるソフトウェアです。 コスト削減や人員不足など様々な課題を解決し生産性・利益向上に貢献。 DXを実現するためには、蓄積された各種データおよび機器、システムD/B、 解析技術と連携するカーネルが必要です。 当ソフトウェアは、そのカーネルとしての役割を担うことができます。 【特長】 ■ヒト・モノの見える化/最適化検討を強力支援 ■省人化の課題を解決 ■生産性・利益向上に貢献 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
工場内の見える化で、説得力を持った指導・改善を提案！言葉の壁もFlexSimで解決。
離散事象解析3Dシミュレーション『FlexSim』を石屋製菓株式会社様に 導入した事例をご紹介します。 「当社はシミュレーションソフトを導入して、製造ラインやヒトの動線を 客観的に比較する必要があるのではないかと考えていました。 その時ににタイミングよく展示会で当製品を見つけて興味を持ちました。 導入した結果、目標を達成するために、各工程をどのぐらいの時間で 進めていけばよいのか、どのような動きをするとよいのかという時間や動線、原価がいくらになるのかということが可視化され、言葉だけではなかなか伝わりにくいことを説得力を持って説明できるようになりました」 【導入の主な効果】 ■生産効率の向上 ■新規導入機械の最適化 ■コミュニケーション強化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
改善効果の可視化！全体を総合的に解析することで、適切な生産システムを提案！
平田機工は、自動車、半導体をはじめとする多様な産業分野において、 お客さまのご要望に応じた生産システムの製造・販売を行っています。 同社は、多様なコンポーネントによって構成される、生産システム全体の 妥当性を評価・検討し、お客さまのご要望に応える提案をするため、 総合的に工場内物流を解析できるソフトを探していました。 そこで、さまざまな搬送コンポーネントを盛り込んだ、物流解析ソフトの ベンチマークリストを同社独自に作成し、各ソフトの評価を実施。 その結果、AMRの干渉回避を含めたシミュレーションに対応でき、 (現時点で)同社の業態に適したソフトは『FlexSlim』でした。 【導入の主な効果】 ■生産システムの再現とボトルネックの特定 ■改善効果の可視化 ■人・モノの最適化および事前検証 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
改善効果の可視化！複数の加工機械とロボットの搬送動作、携わる人の動作までも細かく再現
株式会社山本金属製作所様が開発を進める「Learning Factory」は、 リアルタイムで取得するデータを利用し、高度に知能化した自立制御型の 無人工場をコンセプトとしています。 サービスや設備の設計について、生産現場の関係者やお客さまに提供する際には 工場内の設備を3Dモデル化したシミュレーションを用いることで、機械図面や プレゼン資料だけで説明するよりも、はるかに強い説得力をもって説明ができると 考えたことが『FlexSim』の導入検討を始めたきっかけでした。 複数の加工機械とロボットの搬送動作に加え、携わる人の動作までも細かく再現。 シミュレーション結果から、モデル工場内のメインの生産業務よりも、別工程の 生産業務でより多くの作業時間がかかっていることが分かりました。 【事例概要】 ■目的：国内製造業が抱える喫緊課題の解を示す ■選定：使いやすい3Dシミュレーション機能に着目 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Vivo 社は OpticStudio の RCWA で携帯電話やAR/VR 製品の設計方法を合理化し、優れた設計を実現
中国に本拠を置くVivo 社は、スマートフォン、スマートフォンのアクセサリ、ソフトウェア、オンラインサービスなど、消費者向け通信機器と関連テクノロジーの設計・開発に携わっています。 2020 年1 月にリリースされたOpticStudio 20.1 にネイティブでサポートされている厳密結合波解析（RCWA）手法を用いて、近軸シミュレーションや周期的微細構造シミュレーションを必要とするDOE の設計を行うと、DOE に基づいた光学シミュレーションと解析を使用することで、新しいDOE 光学設計を行うたびにマクロを作成してテストする必要がなくなり、Vivo 社のユーザーは時間を節約することができました。 RCWAやその他の OpticStudio の機能がどのように Vivo を成功に導いたか、その全容をご覧ください。 ※詳しくは PDF 資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
AnsysのROMアプローチによりシミュレーション時間を数秒に短縮！
当資料では、顧客のゼロカーボンエネルギー移行を推進するためにAnsysの デジタルツインテクノロジーを活用しているENGIE Lab CRIGENについて ご紹介しております。 ENGIE Lab CRIGENのマルチフィジックスシミュレーションエキスパートの コメントやAnsys Twin Builderについても掲載。 デジタルツインにより、お客様は設計段階で将来の設備に関する様々な シナリオをテストし、その設備を最適化することができます。 【掲載内容】 ■次数低減モデリングにより、シミュレーション時間を数時間から数秒に短縮 ■見えないものをシミュレーションで可視化 ■Ansys Twin Builder：ENGIE Lab CRIGENのイノベーションのキーテクノロジー ■デジタルツインでエネルギー消費を予測し、最小限に抑える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【新製品】需要、複雑さ、ユーザー数の増大に対応する拡張性の高いソリューション！
『Ansys ConceptEV』は、自動車業界において先進車両の開発を サポートする、EVパワートレインの設計およびシミュレーション プラットフォームです。 強力なシミュレーションワークフローにより、好適なサイズ、 重量、性能を備えたパワートレインを開発可能。 繰り返し可能なタスクを効率化し、エラーを最小限に抑えながら、 最終製品の全体的な効率を高めて、多くの専門分野にわたる エンジニアリングチームの生産性を向上できます。 【Ansys ConceptEVで体験】 ■強力なシミュレーションワークフロー ■繰り返し可能なタスクを効率 ■エンジニアリングチームの生産性を向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
光学およびフォトニクス設計のシミュレーションソフトウェアパッケージについてご紹介！
当資料では、ミクロからマクロまでのフルサイズ光学シミュレーション プラットフォーム『Ansys Optics』について掲載しております。 自動車の光環境のソリューション「Speos」や、自動車用照明の ソリューションや、HUDの設計と分析のソリューションをご紹介。 当製品ポートフォリオにはLumerical、Zemax、Speosの3つの主要製品が 含まれています。さまざまな用途へのトータルソリューションを提供します。 【掲載内容(一部)】 ■自動車の光環境のソリューション：Speos ■自動車用照明のソリューション ■カメライメージングのシミュレーションのソリューション ■HUDの設計と分析のソリューション ■ディスプレイ設計と分析シミュレーション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
粒子破砕の例、Mechanicalとの連成例、CFD連成手法などについてご紹介！
当資料では、粒子流れの挙動を迅速かつ正確に解析する、忠実度の高い 粒子シミュレーションソフトウェア『Ansys Rocky』を掲載しております。 多数の粒子を高速に解析する、マルチGPU処理といった「採用すべき理由」 や混合効率の予測などの「アプリケーション例」についてご紹介。 巻末には、ケーススタディも掲載されており、参考にしやすい一冊と なっております。是非、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■離散要素法(DEM：Discrete Element Method)とは ■Ansys Rockyとは ■従来のDEMからの発展：離散固体/流体力学シミュレーション ■Ansys Rockyを採用すべき理由 ■複数の粒子形状 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
大学での講義に適している！初心者にとって習得しやすいソフトウェアの事例
宇都宮大学で、実践的な光学系設計概念の教育に「Ansys Zemax」を 活用している事例についてご紹介いたします。 宇都宮大学の学生たちは、在学中に光学設計を習得するための時間を 確保しなくてはならないという課題がございます。 Ansysの光学シミュレーションソフトウェアを講義に導入することにより、 学生たちが聞いた内容と仮想環境で達成できる基本的なレンズ設計を 意味のある役立つ形で結び付けられるように支援しています。 これにより、学生たちのより深い理解と知識定着を促進しています。 【事例概要】 ■課題 ・宇都宮大学の学生たちは、在学中に光学設計を習得するための時間を 確保しなくてはならない ■ベネフィット ・学生たちのより深い理解と知識定着を促進 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
AIを導入することで、光学設計を大幅に加速できる！設計者の能力を補いつつ、ワークフローを効率化
当資料では「光学設計の未来におけるAIとマルチフィジックスの役割： Ansys OpticsとEdmund Optics社」について掲載されております。 マルチフィジックスシミュレーションを設計ワークフローに組み込むことで、 環境条件、材料特性、および製造公差が光学性能に与える影響を評価可能。 この総合的な解析により、光学設計が実際の動作条件においてロバストで 信頼性が高いことが保証されます。 【掲載内容】 ■マルチフィジックスシミュレーションを使用した包括的な解析 ■AIを活用した設計の最適化 ■設計者はAIに取って代わられるのか ■詳細はこちら ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
シミュレーション環境での仮想モデリングを導入！ドライバーが重傷を負うリスクが軽減
当資料では「NASCAR、人体モデルとシミュレーションを使用して負傷 リスクを低減」について掲載しております。 NASCARのドライバーは、公道を走る乗用車のドライバーよりも1マイルあたりに 遭遇する衝突回数は多いものの、幸いにも、コース上での衝突1回あたりの 負傷率ははるかに低い。 NASCARでは擬人化試験装置(ATD)と、マルチフィジックス構造ダイナミクス シミュレーションソフトウェアで実行した多数の仮想シミュレーションを 組み合わせています。 【掲載内容】 ■ダミー人形から学べること ■Ansysのシミュレーションを使用したヘルメット性能の向上 ■シミュレーションを使用して今後のレースの安全性を向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
マルチフィジックスシミュレーションを使用して電気自動車のバッテリ製造を効率化！
当資料では「シミュレーションによりEVバッテリ製造の効率を向上」 について掲載しております。 EVバッテリ製造のためのシミュレーション主導による包括的なデジタル エンジニアリング戦略の利点について説明。 多くのエンジニアがAnsysのさまざまなシミュレーションから得られた 貴重な知見に基づいて、バッテリ設計を最適化し、拡張性、品質、持続可能性 を実現するような設備とワークフローを特定しています。 【掲載内容】 ■シミュレーションによるバッテリ生産プロセスの最適化 ■デジタルツインを活用して運用を向上 ■Ansysのシミュレーションで効率を向上 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ヒートシンクの設計に関する30パターン以上のパラメータスタディを、約1時間程度で評価可能！
電子機器の冷却設計の課題について、当社のシミュレーション技術を 用いた解決策・メリットをご紹介いたします。 「Ansys Discovery」は、独自のGPUベースのシミュレーション技術により、 設計変更を柔軟かつ迅速に行え、その結果をほぼリアルタイムで可視化可能。 PCB筐体内の熱流動解析では、ヒートシンクの設計に関する30パターン以上の パラメータスタディを、約1時間程度で評価することができます。 【メリット】 ■ヒートシンクの設計に関する30パターン以上のパラメータスタディを、 約1時間程度で評価可能 ■パラメトリックシミュレーションとクラウドによる高速並列計算を 組み合わせることで1000パターンを15分～20分で処理可能 ■「Ansys optiSlang」のワンクリック最適化機能を組み合わせることで、 量産を見据えた設計検討や設計比較に強力な手段を提供 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
高品質のプラスチック製品を早く、安くつくるために！コストのかかる試作の回数を低減します！
射出成形における金型内の樹脂挙動をシミュレーションするための アプリケーション『Autodesk Moldflow』をご紹介します。 プラスチック製品及び射出成形用金型の設計を検証および最適化し、 プラスチック射出成形のプロセスを詳細に検証可能。 世界中多くの企業で利用されている当製品は、コストのかかる試作の回数、 潜在的な製造上の不具合を低減し、革新的な製品をより早く市場へ投入する ことに貢献します。 【シミュレーション】 ＜プラスチック充填保圧シミュレーション＞ ■自動ゲート位置解析 ■成形プロセス最適化解析 ■DOE(実験計画法)解析 ■繊維配向解析 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【教育用実験装置】プロセスシュミレータ
【概要】 プロセスシミュレータとコントローラを用いたカスケード制御のシミュレーション実験を介して限界感度法、過渡応答法の理解するためのシミュレータです。
真空技術、プラズマ技術、薄膜技術、微細加工技術を用いる技術者のためのシミュレーションソフトウェア！
『PEGASUS』は、装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を 利用した開発、製造に携わる技術者のためのシミュレーションソフトウェアです。 機能が異なる複数のモジュールで構成されおり、一つあるいは複数のモジュールを 組み合わせて使用することで、お客さまの要求に応じたシミュレーションを行うことができます。 IT、宇宙開発、エネルギー、半導体など幅広い産業・分野を対象としています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を利用した開発、製造に携わる 技術者のためのシミュレーションソフトウェア ■真空薄膜技術で必要とされる多くのプロセスに関連するシミュレーションを行うことが可能 ■装置サイズの気相シミュレーションからミクロンサイズの基板表面シミュレーションまで行うことが可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマ解析領域全体におけるイオンのエネルギー分布、角度分布等を計算！
『イオンモンテカルロ・シミュレーション・モジュール（IMCSM）』は、 プラズマ解析領域全体にわたり、イオンのエネルギー分布、また境界セル での入射エネルギー／角度分布を計算します。 現在のPHMは、装置内のプラズマ分布等を計算しますが、計算モデル上、 イオンのエネルギーは一様としています。しかし、基板／ターゲット表面の イオンエネルギーを求めたい場合が多いと考えられます。 当製品は、PHMの計算結果（空間分布物理量）を用いて、プラズマ解析領域 全体、および基板／ターゲット表面のイオンエネルギー分布等を計算します。 【特長】 ■PHMの計算結果（空間分布物理量）を用いる ■プラズマ解析領域全体、および基板／ターゲット表面の イオンエネルギー分布等を計算する ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧縮性と粘性を考慮した流れの計算が可能！ガス成分の種類ごとに密度と流量の空間分布が求まります
『中性粒子連続体モジュール（NMEM）』は、複数種の原子・分子 （電荷を持たない粒子）からなる混合気体の流れ場を計算します。 中性粒子種各成分の拡散を考慮した流体の基礎方程式を解くことにより、 各成分の流量と密度を計算。 この基礎方程式は気体を連続体とみなしたもののため、Kn（クヌーセン数； 流れの希薄度を評価する無次元数Kn＝平均自由行程長／流れの代表長さ）が およそKn<0.01の場合に対して適用できます。 【特長】 ■ガス成分の種類ごとに密度と流量（フラックス）の空間分布が求まる ■圧縮性と粘性を考慮した流れの計算ができる ■プラズマとカップリングした計算が可能（PHMまたはPIC-MCCMとのカップリング） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イオン注入、あるいはスパッタリング現象そのものに関する計算を行うことが可能！
『動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア（SASAMAL）』は、 2体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。 アモルファスターゲットに高エネルギーのイオンが入射した際の スパッタリング率、スパッタリング原子の放出角度分布・エネルギー分布、 入射粒子の後方散乱する割合・角度分布・エネルギー分布、イオンの ターゲットへの侵入深さ（Depth Profile）を計算。 各種材料のスパッタリング率の、イオンの入射エネルギー依存性や 入射角度依存性の評価、イオン注入による材料の表面改質プロセスの 評価などに利用できます。 【特長】 ■当製品単体のみを用いた場合でも、イオン注入、あるいはスパッタリング 現象そのものに関する計算を行うことが可能 ■PIC-MCCMやDSMCM と組み合わせて用いた場合、広い範囲の装置パラメータの 影響を調べることも可能 ■装置のガス圧とスパッタリング率の関係なども評価することができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
