真空技術、プラズマ技術、薄膜技術、微細加工技術を用いる技術者のためのシミュレーションソフトウェア！
『PEGASUS』は、装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を 利用した開発、製造に携わる技術者のためのシミュレーションソフトウェアです。 機能が異なる複数のモジュールで構成されおり、一つあるいは複数のモジュールを 組み合わせて使用することで、お客さまの要求に応じたシミュレーションを行うことができます。 IT、宇宙開発、エネルギー、半導体など幅広い産業・分野を対象としています。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■装置メーカ、材料メーカそしてデバイスメーカにおいて真空技術を利用した開発、製造に携わる 技術者のためのシミュレーションソフトウェア ■真空薄膜技術で必要とされる多くのプロセスに関連するシミュレーションを行うことが可能 ■装置サイズの気相シミュレーションからミクロンサイズの基板表面シミュレーションまで行うことが可能 など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【対象となる産業と分野】 ■IT：光ファイバー、光導波路デバイス ■宇宙開発：スペースチャンバ、太陽電池 ■エネルギー：燃料電池、太陽光発電 ■半導体：低・高誘電率材料、シリコン、化合物半導体 ■電子：LCD・PDP・有機EL、ディスプレイ、光ディスク 他 ■食品／飲料：耐腐食、低酸素透過膜パッケージ ■金属：表面改質、DLC、硬化、金属加工 ■窯業：ファインセラミックス ■自動車：カーエレクトロニクス、ミラー、ヘッドランプ ■新素材：カーボンナノチューブ ■光学：各種コーティング、照明 ■MEMS：バイオチップ、μTAS ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■希薄気体装置シミュレーション ・各種真空装置、真空ポンプでの希薄気体挙動および粘性流 ・真空蒸着装置でのキャリアガス流れおよび膜厚分布 ■輻射・熱伝導シミュレーション ・各種真空装置内の構造物の入射熱流束分布および温度分布 ■プラズマ装置シミュレーション ・PECVD/エッチング装置での母ガス、荷電粒子、励起種、ラジカル挙動 ・マグネトロンスパッタ装置でのプラズマ挙動およびスパッタ粒子挙動 ■放電現象シミュレーション ・マグネトロン/ホローカソード/沿面放電 ・荷電粒子ビーム挙動 ・プラズマ源イオン注入 ・プラズマ源表面改質 ・マイクロプラズマ ■形状シミュレーション ・PVD/PECVD/エッチングにおける微細加工形状 ■希薄気体シミュレーション ・希薄気体中のナノ粒子挙動 ・微細領域での原子・分子挙動 ・真空引き ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
真空／プラズマ／希薄気体及び、気体エレクトロニクス分野における物理現象を解析するソフトを自社開発／販売を志して独立した企業です。私どもでは創造力、開発力、技術力そして競争力を企業精神としております。
