差動排気型 質量分析計『Transpector CPM』
あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適！
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
- 企業：東京電子株式会社
- 価格：500万円 ~ 1000万円
