あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適！
INFICON CPMコンパクトプロセスモニターは、あらゆる機能を備えたコンパクトな質量分析計（ガス分析計）で、複合プロセスのIn-Situ モニターリングに最適です。また、ドライ化された排気システムは、実績あるINFICON Transpectorシステムの技術を使用して、さらに高いレベルの性能を実現しています。
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基本情報
・複合プロセスモニタ用の四重極をベースとした質量分析計 ・365日の継続的モニタにより生産性向上とコスト削減を実現 ・コンパクトで手頃な価格により、あらゆる低真空チャンバーに取り付け可能 ・新しいHexBlockTMサンプリングシステムにより性能が向上 ・プロセス圧力のモニタおよび真空のインターロック用としてCDGを採用 ・校正のための基準ガスボンベをオプションで用意 ・長寿命のフローズドイオンソースによりsub-ppmレベルの汚染物質の検出 が可能で、腐食性ガスや反応性ガスにも対応 ・軽量で移動が容易
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
用途／実績例
【環境分野】 ・大気圧下の分析 ・VOC、燃焼ガス分析 【医療・ヘルスケア分野】 ・呼気分析（リアルタイム） ・創薬における分析 【工業製品分野】 ・真空プロセス分析 ・材料からの不純物分析 ・触媒反応の分析
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企業情報
私たち東京電子株式会社は、エレクトロニクスと精密機器の技術によって、精度と信頼性・耐久性を誇るさまざまな分野にわたる真空計、制御機器を開発してきました。 「真空」という命題は、IT産業をはじめエレクトロニクス、食品や医療に関わる分野、新素材の開発や生活必需品の製造にいたるまで、私たちの生活と産業のベースとなる技術です。そのために、多彩なフィールドにおける数々のクライアントの皆さまからの要求に、的確かつフレキシブルにお応えすることこそが、私たちのビジネス。 現代の、明日の、そして未来への産業と人々のより良い生活のために、「真空」という私たちの技術と製品が、青く澄んだ空のように、人々の幸せの上に広がる「真の空」となることを願いながら、私たちは今日も活動を続けています。