搬送ロボット(半導体+搬送) - メーカー・企業と製品の一覧

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能

• 企業：株式会社ジェーイーエル
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置