ウエハチップ自動搬送・自動撮影システム『YATシリーズ』
顕微鏡メーカーを問わず搬送可能！
『YATシリーズ』は、顕微鏡メーカーを問わず、検査側に ウエハ・ガラス関連製品を自動搬送・自動撮影できるシステムです。 自動ステージとの組合せでフルオート搬送でき、マニュアル搬送モード 単体機としても搬送可能です。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ■搬送側での測定ウエハの選択・マニュアル搬送可能 ■ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ■自動ステージ・カメラ制御による25枚自動撮影可能 ■ウエハ以外での部品にも対応実績あり ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お問い合わせください。
- 企業：株式会社ヤマトハンズ
- 価格：応相談
