有機溶剤洗浄装置
装置本体とポンプユニットと制御盤で構成！薬液供給方法はCCSS方式の有機溶剤洗浄装置
当社が取り扱う、『有機溶剤洗浄装置』をご紹介します。 6″ウェハカセット用の自動エッチング洗浄装置で、制御方式はPLC。 装置本体とポンプユニットと制御盤からなっています。 洗浄プロセスはバッチ洗浄、流れ方向は左→右の3機ロボット搬送です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【主な仕様】 ■搬送：6″ウェハの2カセット搬送 ■洗浄プロセス：バッチ洗浄 ■流れ方向：左→右の3機ロボット搬送 ■制御方式：PLC ■薬液供給方法：CCSS 方式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ダン科学
- 価格：応相談
