ME-5000 枚葉式スピンエッチャー
ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです！
『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。 エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が可能です。 洗浄部カバー内に気流を作り、薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
- 企業：マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
- 価格：応相談
