ウエハ300mm、両面処理対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです！
『ME-5000』は、シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハ対応型メカグリップの枚葉式スピンエッチャーです。 エッチングチャンバーの上下可動方式で２本のアームによる動きは旋回、上下運動が可能です。 洗浄部カバー内に気流を作り、薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
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基本情報
【特徴】 ○シリコンウエハ300mm/８.6.4インチ、８.6.4インチSiC及びGaNウエハにも対応 ○両面処理対応型メカグリップ（特許取得済） ○エッチングチャンバーの上下可動方式 ○２本のアームによる動きは旋回、上下運動 ○洗浄部カバー内に気流を作る。（クリーンシャワー方式） ○薬液は酸系４種類及び純水の５種類で分離回収 〇混酸（フッ硝酸）も使用可能 ○対応回転数 MAX 5000rpm 設定３ポジション ○本体サイズ W485×D625×H1270 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください
価格情報
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納期
用途／実績例
ウエハの表面研磨後の洗浄
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企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。