ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 スプレータイプ
【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）
枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
枚葉自動洗浄機 - 企業2社の製品一覧
製品一覧
1～5 件を表示 ／ 全 5 件
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枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。 【展示会出展情報】 SEMICON Japan 場所：東京ビッグサイト 期間：2017年12月13日～15日 小間番号：3509 東ホール
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
ウエハー自動洗浄装置 枚葉式自動洗浄装置 ディップタイプ
【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
枚葉式の自動洗浄装置『RCAウエハ洗浄装置』
カスタマイズOK！素早い対応と、メーカーならではのアフターフォローが可能です。
『RCAウエハ洗浄装置』は、信頼性の高い洗浄方法として広く採用される RCA洗浄を主体とした枚葉式の自動洗浄装置。 ウエハ搬送用の「3軸多関節クリーンロボット」と、ローダー・アンローダーに 採用した「FOUP」により、ノンパーティクル環境での洗浄を実現しました。 【特長】 ■お見積もりからカスタマイズまで、素早い対応が可能 ■自社装置はもちろん、他社装置もフォローOK ■急な仕様変更にも細かく対応 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：ジャパンクリエイト株式会社
- 価格：応相談
枚葉式自動洗浄装置
ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が可能
本装置は、φ150mm（6 ) ・φ200mm（8 ）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。 プロセス：LD（水中）→ 両面ブラシスクラブ → 両面ブラシスクラブ → 超音波シャワー洗浄 → スピン乾燥 → ULD（空中）となります。
- 企業：PHT株式会社
- 価格：応相談
