【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗浄装置です
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特徴】 ○ディップ型の枚葉処理機 ○ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を実行 ○最終洗浄終了後、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥実行 ○カセットtoカセットの洗浄機 ○薬液の種類により材質の変更製作可 ○搬送スピードが高速な為、各種エッチング装置にも対応可(500mm/sec) ○枚葉式の為エッチングムラも少ない ○レジストの剥離などにも優れた洗浄能力を発揮 ○ワークサイズ：～□400mm、～φ12インチ ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。