インプリント技術の核心、原盤加工技術
【技術資料を無料進呈】小さいもので単位の微細構造形成が可能！高い精度での加工を実現
デクセリアルズが誇る「ロールtoロール方式のインプリント技術」は、 数100nmから数100µmサイズの構造を何百mにもおよぶ長さのフィルム上に 連続的に微細構造を形成する技術です。 当社ではフィルム基材に微細構造を転写する際に用いる原盤の作り方として、 「リソグラフィー加工」と「精密機械加工」の2つの技術を有しています。 円筒形状の母材の表面にはレジストと呼ばれる樹脂が塗られており、 レーザー光があらかじめ計算された動きでパターンをレジストに描いた後に プラズマ化したガスを当てるドライエッチングと呼ばれる処理を施すことで 微細構造を形成。リソグラフィー加工はナノメートルオーダーの精緻な パターンを原盤に刻むことができます。 もう一つの原盤の作り方が機械による精密加工です。こちらは金属製の 円筒形状の母材を回転させながら、ダイヤモンドなどの高硬度なバイト（刃）で 削っていくことで表面に微細構造を形成していきます。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：デクセリアルズ株式会社
- 価格：応相談
