残留ガス分析 - 企業1社の製品一覧

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービスを行います。

分析アプリケーション例（蓄積法） 破壊分析 　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非破壊分析 　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定

• 企業：東京電子株式会社
• 価格：応相談

• その他検査機器・装置