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水銀光源(熱) - 企業1社の製品一覧

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250W水銀光源 REX-250

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択・切り換えが可能なUV照射装置です。

248nmまでのDUV光を利用でき、波長選択・切り換えが可能なUV照射装置です。 光学フィルターによって必要な水銀輝線波長のみを取り出すことができます。 シャッター、タイマー照射、光量調整、フィルターチェンジャー、外部制御など多彩な機能を標準装備しています。

  • 半導体検査/試験装置

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