【半導体向け】薬品・洗剤を使用しない洗浄機
半導体製造における微粒子除去に貢献!
半導体業界では、製品の品質を左右する微粒子の除去が重要です。特に、高密度化が進む中で、コンタミネーションは歩留まりを大きく左右する要因となります。従来の洗浄方法では、薬品や洗剤の使用による環境負荷や、洗浄後の残留物の問題がありました。当社の洗浄機は、スーパーアルカリイオン水を使用し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの洗浄 ・各種部品の微粒子除去 ・製造工程における異物除去 【導入の効果】 ・薬品・洗剤の使用量削減 ・環境負荷の低減 ・高い洗浄力による歩留まり向上