半導体製造における微粒子除去に貢献！
半導体業界では、製品の品質を左右する微粒子の除去が重要です。特に、高密度化が進む中で、コンタミネーションは歩留まりを大きく左右する要因となります。従来の洗浄方法では、薬品や洗剤の使用による環境負荷や、洗浄後の残留物の問題がありました。当社の洗浄機は、スーパーアルカリイオン水を使用し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの洗浄 ・各種部品の微粒子除去 ・製造工程における異物除去 【導入の効果】 ・薬品・洗剤の使用量削減 ・環境負荷の低減 ・高い洗浄力による歩留まり向上
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基本情報
【特長】 ・スーパーアルカリイオン水（強アルカリ電解水）を使用 ・常温でも汚れ・油を乳化・分離 ・50℃付近まで加温可能 ・圧倒的な噴射力で微粒子を除去 ・食品工場や各種部品洗浄にも対応 【当社の強み】 株式会社Ｅプランは、人と自然にやさしい先端の洗浄技術を提供しています。長年の経験と技術力で、お客様の課題に最適な洗浄ソリューションを提供します。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
・製造業 ・金属加工業 ・機械加工 ・自動車業界 など
企業情報
株式会社Eプランは、強アルカリ電解水「スーパーアルカリイオン水（SAIW）」の開発・製造を行うメーカーです。 有機溶剤や洗剤に頼らない「水による洗浄」をコンセプトに、金属加工業（板金・切削）を中心とした製造現場の脱脂洗浄や工程改善、作業環境の向上に貢献しています。 電解水生成装置および各種洗浄機の提供を通じて、現場ごとの課題に応じた洗浄方法・設備の提案を行い、人にも現場にもやさしい洗浄環境の実現を目指しています。
