半導体工場のフッ酸廃液移送で困った!浸漬型樹脂製ポンプの課題
樹脂製ポンプはデリケート!費用、部品代、作業ロスが積み重なります
半導体工場でフッ酸(約3%、最大5%)が入った廃液を移送するとき、 多くは耐食性を優先して縦形で浸漬型の樹脂製ポンプが選ばれています。 浸漬型なので液槽に直接沈めれば配管は短く済み、運転も安定しやすい、 そんな理由で長年採用されてきました。 でも実際に運用している現場からは、「メンテナンス費用がかさむ」 「停止時間が読みにくい」という声が絶えません。 ※記事の詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社みつわポンプ製作所
- 価格:応相談