半導体製造装置用 面内温度分布測定ツール『T/C ウエハー』
温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達！温度特性を正確に把握することができます
『T/C ウエハー』は、ウエハの実温をリアルタイム測定できる 半導体製造装置用の面内温度分布測定ツールです。 装置側の設定温度のみではなく、実際にウエハにかかる温度分布特性を 知ることでプロセス温度設定・制御の簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献。 独自の埋め込み技術により、温接点位置の固体差も低減し、読み込み温度の 高い信頼性が得られます。 【特長】 ■ウエハの実温をリアルタイム測定 ■読み込み温度の高信頼性 ■プロセス温度設定・制御の簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献 ■独自の埋め込み技術により、温接点位置の固体差を低減 ■読み込み温度の高い信頼性が得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社ミヤビインターナショナル
- 価格：応相談
