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測定光学センサ(チップ) - 企業1社の製品一覧

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非接触厚み測定 光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」

薄膜(数um)~厚膜(780um)まで高精度に測定できる幅広いプローブをラインナップ。ウエハ検査用途にも。

『CHRocodile 2シリーズ』は、サブミクロン分解能でウエハ厚のインプロセス測定が可能な非接触センサーです。 抜き取りでの品質管理にも使われています。半導体業界の他、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野で採用されており、透明体厚み、コーティング厚み測定、複数層の同時測定(最大16層)に適しています。 【特長】  ■幅広い厚み測定範囲 、様々な材質に対応    豊富なプローブラインナップで、厚みは薄膜(数um)~厚膜(780um)までカバー。    材質に合わせて二つの原理方式から選択可能。  ■高分解能(サブミクロン 最小1nm)    「色収差共焦点方式」、「分光干渉方式」の原理による高分解能測定  ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、    装置組込み用のソフト開発キット(DLLなど)も用意  ■多業界で豊富な実績    半導体業界、コンシューマー家電、ガラス製造、メディカル分野 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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