ビーム加工・金属３Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案
超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーターの提案
◆マスクの提案 当社微細孔加工技術の最小孔径φ0.1μm加工技術を用いて、ビームを切ることなく連続照射することで直線、曲線の スリット加工から精密微細マスクを提案します。 スリットとスリットの間の肉厚も2μm程度まで隣接可能であり、当社保有設備を駆使することでスリット幅 を自由に選択出来ます。但し、ワーク厚み／スリット幅≦５の関係があります。 ◆コーデッドマスクの提案 金属３Dプリンター技術を活用することでビーム加工の超微細領域ではありませんが、ビーム加工のワーク厚み／ スリット幅≦５の制約が無く自由設計で複雑な形状をしている、コリメータやコーデッドマスクを提案をします。
- 企業：東レ・プレシジョン株式会社
- 価格：応相談
