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ビーム加工・金属3Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案

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最終更新日:2024年02月15日

東レ・プレシジョン株式会社
東レ・プレシジョン株式会社
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超微細スリットのマスク、高アスペクト比のコーデッドマスク、コリメーターの提案

◆マスクの提案 当社微細孔加工技術の最小孔径φ0.1μm加工技術を用いて、ビームを切ることなく連続照射することで直線、曲線の スリット加工から精密微細マスクを提案します。 スリットとスリットの間の肉厚も2μm程度まで隣接可能であり、当社保有設備を駆使することでスリット幅 を自由に選択出来ます。但し、ワーク厚み/スリット幅≦5の関係があります。 ◆コーデッドマスクの提案 金属3Dプリンター技術を活用することでビーム加工の超微細領域ではありませんが、ビーム加工のワーク厚み/ スリット幅≦5の制約が無く自由設計で複雑な形状をしている、コリメータやコーデッドマスクを提案をします。

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ビーム加工・金属3Dプリンターを用いたマスクやコリメーターの提案

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基本情報

ロングパルスレーザー  より効率的に熱を加えることで微小孔で多孔等を高速・高品位に加工。  更に、前後の処理工程(精密加工技術)と組合わせることにより低コスト加工。 超短パルスレーザー加工  パルス幅の非常に短いレーザー(ピコ秒、フェムト秒等)を用いて微細加工する加工法。  熱影響が少なく、高品位な仕上がり。 集束イオンビーム装置(FIB)  数十ナノメートル程度に集束したイオンビームを試料表面で走査することで発生した2次電子などを検出して  顕微鏡像を観察したり試料表面を加工したりすることができます。 レーザーパウダーベット方式(粉末床溶融結合方式 Laser Powder Bed Fusion,略称:L-PBF)  金属パウダーを敷き詰めたベッドにレーザーを照射し、溶融・積層する方式。  比較的小型・複雑な形状で高精度造形に向いている。 レーザーデポジション方式(指向性エネルギー堆積方式 Direct Energy Deposition,略称:DED)  レーザーを噴射した金属パウダーに照射し、溶融・積層する方式。  大型造形、既存製品への部分造形や補修などに向いている。

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用途/実績例

マスク、コリメーター、コーデッドマスク ※お問合せ頂ければ、詳しくご説明致します。

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精密微細加工技術は、現代の先端産業を支える共通基盤技術としてますます重要視されております。 東レ・プレシジョン株式会社は、1955年の創立以来、合成繊維製造のキーテクノロジーであります紡糸用口金を製造し、 日本及び欧米を含む世界の合繊メーカーに提供することにより合繊業界の発展に貢献してまいりました。 一方でこの間に培った精密微細加工技術の経験と技術は他の産業分野にも幅広く生かされております。 精密加工部品は航空機、産業ロボット、計測制御機器等の重要な部分に組み込まれており、 また独自で開発し設計・製作した流体用特殊ノズルは各種産業機械の重要なコンポーネントとしてその機能を十分に発揮しております。 サブミクロン単位を誇る超精密微細加工技術は、高度情報化社会を実現するために不可欠の光通信分野にも生かされています。 フェルール、アダプター等の光部品に加え各種光デバイスの商品化も行ってきました。 このように超精密微細加工技術のパイオニアとして、今後とも高精度、高品位の製品を送り出すことにより社会に貢献いたします。

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