イオンポンプ融合型超真空用ゲッターポンプ「NexTorr(R)」
全てのガスを効率的に排気する 超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ
NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイオンポンプに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。 【特徴】 ○ 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮 ○ 不活性ガスとメタンに対しての排気速度 ○ UHV-XHVでコンスタントな排気速度 ○ オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。 ○ 非常に小型で軽量なポンプ ○ 磁場との干渉を削減 ○ オイルフリーおよび振動フリー ○ 10-9 mbar以下の圧力を測定可能
- 企業：サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー 日本支店
- 価格：応相談
