全てのガスを効率的に排気する 超軽量タイプのUHV対応ゲッターポンプ
NEXTorrポンプは、NEGとイオンポンプの技術を相補的に組み合わせた設計になっています。 小さなスパッタイオンポンプ（SIP)がNEGによって排気されなかった不活性ガスを取り除いている間、ゲッターカートリッジが主なUHVポンプとして働きます。 活性化ガス(水、水素、窒素等）向けのNEGポンプの大きな排気許容量と一体化されたデザインのために、NexTorrポンプは同様の排気速度の特徴を持つイオンポンプに比べ、10倍から50倍、小さく軽量になっています。 【特徴】 ○ 全ての活性ガス向けに高い排気速度と許容量を発揮 ○ 不活性ガスとメタンに対しての排気速度 ○ UHV-XHVでコンスタントな排気速度 ○ オペレーションの際、最低限の電力しか必要としない。 ○ 非常に小型で軽量なポンプ ○ 磁場との干渉を削減 ○ オイルフリーおよび振動フリー ○ 10-9 mbar以下の圧力を測定可能
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基本情報
【標準仕様】 ○ 使用可能なフランジサイズ：ICF70/114/152（製品グレードによる） ○ 重量: 2.2/3.1/6.5Kg製品グレードによる） ○ 寸法（大気側イオンポンプ）：75x75x106/75x75x120mm（製品グレードによる） ○ 排気速度（水素に対して）：100/200/300/500/1000/2000L/s（製品グレードによる） ○ 専用電源あり
価格帯
納期
用途／実績例
【用途例】 ● 粒子加速器 ● UHV-XHV実験装置 ● ポータブル搬送装置 ● SEM, TEM, FIB他各種分析装置
企業情報
ゲッター技術の世界的パイオニア「サエス・ゲッターズ・グループ」は、1940年代の創業以来、高・超高真空環境や純金属の蒸着など様々な用途に対応するソリューション（ガス/水分吸着剤、水銀/アルカリ金属蒸着源など）を提供してまいりました。 また研究開発にも積極的に投資し、2004年以降はニチノール市場にも事業を展開しております。ニチノールの超弾性の特性は医療用機器に応用され、形状記憶の特性は産業および家庭用電化製品に応用されています。
