真空デシケーター『FVD-BU』
300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニットをご紹介
『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。 また、FOUPなどの出し入れに便利なダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズです。 この他に、電動タイプの「FVD-DT」も取り扱っております。 【特長】 ■300mmウェーハのFOUP、FOSB用 ■脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える ■長期間保管可能 ■チャンバーはコンパクトなサイズ ■上蓋開閉式(ダンパーヒンジ付き) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社ベック
- 価格：応相談
