300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニットをご紹介
『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。 また、FOUPなどの出し入れに便利なダンパーヒンジ付きで開閉がスムーズです。 この他に、電動タイプの「FVD-DT」も取り扱っております。 【特長】 ■300mmウェーハのFOUP、FOSB用 ■脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える ■長期間保管可能 ■チャンバーはコンパクトなサイズ ■上蓋開閉式(ダンパーヒンジ付き) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【その他の特長】 ■8インチ以下のカセットもウェーハも保管可能 ■予備ポートは内面にもPTネジ ■チャンバー側にヒーターノズルやフィルターを付けることが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
有限会社ベックは、真空ポンプのアイドリング中にリザーバを排気する「エコバックシステム」、「ゴム手袋の手袋装着機」、高効率の真空引きシステム「真空サーバー」などを取り扱っている会社です。 当社は、真空装置の節電・生産性向上に貢献します。