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無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型軽量で高性能！高い信頼性を得ている真空ポンプ
『マスダ真空ポンプ HV型』は、高い耐久性を誇る液封式の真空ポンプです。 水温が15℃の場合、真空度は2kPa（15Torr）まで到達します。 硬度の真空を必要とされる場合は、オプションの専用空気エゼクターを併用 することにより、1段式で0.7kPa(5Torr）、2段式で0.3kPa（2Torr）まで 到達します。 ポンプ内部で回転するはインペラーだけで金属部分の摺動部がないため、 部品の磨耗による故障がなく、蒸気、粉塵を含有するガスでも吸引可能です。 また、機械部品の点数が少ないため分解組立が容易で、特殊工具も不要です。 【特長】 ■高真空 ■高い耐久性 ■簡単なメンテナンス ■小型軽量・高性能 ■無脈動・無振動・低騒音 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
