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簡単に油蒸気の逆流を防止することが可能！油分子を効率よく吸着します
『フォアライントラップ』は、ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、 油分子を効率よく吸着します。 さらに、モレキュラシーブを液体窒素で冷却することによって、油分子のみ ならず水蒸気も効果的に吸着します。(フォアライントラップSの場合) また、ヒータが内蔵されていますので、使用前にモレキュラシーブを ベーキングすることによって、簡単にモレキュラシーブの吸着能力を 再生できます。 【特長】 ■簡単に油上記の逆流を防止することができる ■ガス通路に設けたモレキュラシーブにより、油分子を効率よく吸着 ■使用前にモレキュラーシーブをベーキングすることによって、 簡単にモレキュラーシーブの吸着能力を再生可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コストの1段式油回転ポンプでターボ分子の粗引きができます
この油回転真空ポンプは排気フィルタ、オイル回収システム、逆止弁、ガスバラストを内蔵しています。 運転音が静かなことも特徴です。
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速度 ■軽量でコンパクト ■安全設計 ■清浄な超高真空 ■液体窒素が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
経済的なポンプ！幅広く使用されています！
当製品は、メカニカルブースタポンプと合わせて使用するオイル密封式・ 回転式の真空ポンプです。 油で密封されたロータリー・ポンプは、圧力が気圧から0.13～1.3×10-2Paまで 変化するガスを圧縮し、次に、空気中にそれらを放出させます。 ダイレクトに、オイルによって密封されたロタリーバキュームポンプは コンパクト性と無塵性の両方を提供します。 【特長】 ■メカニカルブースタポンプと合わせて使用可能 ■ガスを圧縮 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
メンテナンス時間が少なく、稼働停止による減産コスト削減可！環境に配慮した真空ポンプ
『HT型』は、スライド弁式・二段・横型水冷式の真空ポンプです。 水や油の後処理が不要で、低ランニングコストで非常に環境に配慮。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も広く 使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■ウェイストフリー ■コンパクト ■構造が堅牢で、保守が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
