大気圧確認用真空スイッチ「PS91シリーズ」
オイルレス 長寿命 真空スイッチ
PS91は、半導体、液晶製造装置の真空プロセスで使用される大気圧確認用の電子式真空スイッチです。 可動部のない電子式スイッチなので、より長寿命。 また、継手にはボルト・ナットが不要で脱着の容易な国際規格（ISO）のクイック-リリース カップリング （Quick-release Coupling）を採用しております。
- 企業：ニデックコンポーネンツ株式会社
- 価格：応相談
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確認真空スイッチの製品一覧
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大気圧確認用真空スイッチ「PS91シリーズ」
半導体型薄膜素子採用で高真空連続使用に対応が可能
PS91シリーズは、半導体型薄膜素子（SUS316L）を採用、高真空連続使用に対応可能な大気圧確認用真空圧力スイッチです。継手はISO規格のクイックリリースカップリングとガスケット継手を採用、スイッチ出力は2点を背面にトリマで任意に設定できます。
- 企業：ニデックコンポーネンツ株式会社
- 価格：応相談
