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固体摺動がないクリーンなシールが可能！磁性流体を用いたシール
『磁性流体シール』は、磁石に引き寄せられるという特長がある 磁性流体を用いたシールです。 磁石により磁性流体を回転軸の周りに固定し、流体Oリングを作ることで 固体摺動がないクリーンなシールが可能となりました。 半導体製造装置や、液晶パネル、太陽電池パネル製造装置の真空シールや ダストシールとして採用されています。 【特長】 ■磁性流体を用いたシール ■固体摺動がないクリーンなシールが可能 ■真空度10-9Pa、耐熱性220℃をクリア（半導体製造装置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造！高性能・高信頼性のシールをご紹介
『磁性流体シール』は、液体でありながら磁石に吸い付く性質をもつ磁性流体を 使用した封止(シール)部品です。 半導体等の電子部品製造装置、分析機器向けとして、真空チャンバー内に 回転動力を伝達する目的で使用します。 構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造。 設計上の詳細要求まで、お客様の要望に合わせ、対応することが可能です。 また、NTN株式会社の代理店としてベアリングに関する専門知識や それをベースにした提案力、解決力も当社の強みです。 【特長】 ■ナノサイズの磁性微粒子を液体中に分散させたコロイド液体 ■耐熱性能が高いため、周辺に冷却機構を設ける必要がない ■差動排気無し直接排気のみで極高真空に対応 ■低アウトガス性能に優れている ■CVD装置等で局部的な冷却による副生成物の発生を抑えることが期待される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
