TRIBUS SYSTEM社製 PVDシステム
Enduraを知り尽くした会社が提案する新たなPVD装置
TRIBUS SYSTEM社はアプライドマテリアル社製EnduraⓇPVDシステムのリファービッシュ専門会社であるSemicat社の子会社です。同社は2020年に設立し、Semicatで培った知識・経験を基に独自開発のPVDシステム(SURPASS P200Ⓡ)を2021年より製造・販売をしております。従来のPVDシステムと比較致しまして、スループットやソフトの操作性・柔軟性が向上しており、半導体製造主要国の会社様でのご採用が加速しております。
- 企業：伯東株式会社 本社
- 価格：応相談
