管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です
管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能 ・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、 精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能 ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径 のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術 【仕様】 ・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM ・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃） ※詳しくはお問い合わせください。
