簡易スラリー供給装置 P65
ウエハ研磨用
スラリー液をタンク内で希釈混合したものを装置へ供給するための実験用供給装置です。 【特徴】 ○タンク容量:125L アイボリー塩ビ製 ○ダイアフラムポンプ:10リットル毎分 ○供給エア:85リットル毎分 ○電源容量:AC100V 5A
- 企業:株式会社テクノメイト
- 価格:応相談
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ウエハ研磨用
スラリー液をタンク内で希釈混合したものを装置へ供給するための実験用供給装置です。 【特徴】 ○タンク容量:125L アイボリー塩ビ製 ○ダイアフラムポンプ:10リットル毎分 ○供給エア:85リットル毎分 ○電源容量:AC100V 5A