1～2 件を表示 ／ 全 2 件
真空用途、非磁性用途なども対応！標準品では対応できない特注品の設計製作も可能
『精密ピエゾステージ』は、オーテックスが取り扱う XERYON PRECISION社の製品です。 各種ピエゾアクチュエーターの特性を知り尽くした技術陣により 製作されるモーションシステムはニーズに適した設計がなされ、 高精度で長寿命なナノ、マイクロポジショニング製品になっています。 真空用途、非磁性用途などにも対応しており、用途に適した ピエゾドライバーも取り揃えています。 標準品では対応できない場合にも、特注品の設計製作も可能です。 【特長】 ■ニーズに適した設計 ■高精度で長寿命 ■真空用途、非磁性用途などにも対応 ■ピエゾドライバーも取り揃え ■特注品の設計製作も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現したステージを提供。1台からカスタムにも対応可能
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、 規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。 【ラインアップ】 ＜超精密ピエゾステージ＞ ■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能 ■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富 ＜精密ピエゾモータステージ＞ ■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現 ■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
