最高1nmの分解能を備えたステージや、±20nmの繰り返し再現性を実現したステージを提供。1台からカスタムにも対応可能
製品の微細化が進む半導体分野やシリコンフォトニクス等の光学分野において 位置決め精度への要求はますます高まっていますが、ナノメートルオーダーの 超精密位置決めの実現には、機構と制御のマッチが不可欠です。 当社は、超精密位置決めに適した製品『ピエゾステージ』の専門メーカーとして 20年以上の実績があり、カタログ規格品を豊富にラインアップしています。 さらに、カスタム設計にも積極的に対応しており、 規格品からでは選定が難しい場合にも用途に合った製品を提供可能です。 【ラインアップ】 ＜超精密ピエゾステージ＞ ■800μm以下の微小な領域において最高1nmの分解能と高速応答の超精密位置制御が可能 ■ミラー用チルトや対物フォーカス用など種類が豊富 ＜精密ピエゾモータステージ＞ ■25mmまでの移動量において±20nmの繰り返し再現性で信頼性の高い位置制御を実現 ■電源オフの状態でもセルフロッキングにより位置を保持 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【このようなニーズに対応できます】 ・周辺部との干渉を避けるためにステージ本体サイズを変えたい ・重さのあるものの微細調整を行いたい ・真空や非磁性などの特殊環境で使用したい ・軽量で速い応答性を重視した製品が必要 ・パネルやウェハ用に大きな開口を備えたステージが必要 など 要求仕様や目的に最適化させた精密・超精密位置決め機器を1台からカスタム設計製作できます。 国内メーカーとして細かな要望にも迅速にお応えいたします。 フォトニクスの研究開発からFPD/半導体製造検査装置や科学分析機器などにおいて、 検査・測定性能や生産性の向上に重要な役割を果たす“精密～超精密位置決め”の課題が ございましたら、ぜひお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
