卓上型X線結晶方位測定装置 SDCOM
コンパクトで高性能 Smart X-ray Orientation
●わずか10秒の高速測定 ●上面照射型 ●各種光学系オプション ●インゴット及びウエハー検査に対応 ●測定方位調整機構
- 企業:スペクトリス株式会社 マルバーン・パナリティカル事業部
- 価格:5000万円 ~ 1億円
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コンパクトで高性能 Smart X-ray Orientation
●わずか10秒の高速測定 ●上面照射型 ●各種光学系オプション ●インゴット及びウエハー検査に対応 ●測定方位調整機構
あらゆる単結晶に対応 Flagship X-ray Orientation
●わずか10秒の高速測定 ●高精度測定<0.003°/<0.03°(1σ) ●試料水平型ゴニオメーター搭載 ●結晶方位・Φスキャン・ロッキングカーブ測定 ●モノクロメーター等の拡張光学系オプション ●ウェハー方位チェック及びマッピング
試料ホルダーの交換により、φ2.88mmチップ~φ6inchインゴットまで測定可能!
当社では、サファイア、SiC、LTGAなどの単結晶を、結晶軸に対する 切断方向結晶方位を測定いたします。 試料ホルダーの交換により、φ2.88mmチップ~φ6inchインゴットまで 測定可能。 受託測定もいたしますので、お気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。