結晶構造解析×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析

電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価

IGZO膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいる材料です。 薄膜中の結晶構造の有無はTFT特性や信頼性に影響する可能性があり、デバイス中における局所的な結晶評価が必要になります。 TEMの電子回折測定を用いてIGZO膜中の結晶構造を連続的に評価した事例をご紹介します。

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

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