高速加工時の位置再現性を維持するモーションコントローラ
最大64軸同期制御と高速サーボ制御により、半導体設備やレーザー加工工程の位置ズレを低減
・高精度 最大64ch多軸同期モーション ・高度で高速なサーボ制御アルゴリズム ・EtherCATベースのユニバーサルサーボドライブ設計 ・レーザーアプリケーションに適したトリガー機能
- 企業:PIジャパン株式会社
- 価格:応相談
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最大64軸同期制御と高速サーボ制御により、半導体設備やレーザー加工工程の位置ズレを低減
・高精度 最大64ch多軸同期モーション ・高度で高速なサーボ制御アルゴリズム ・EtherCATベースのユニバーサルサーボドライブ設計 ・レーザーアプリケーションに適したトリガー機能
EtherCAT対応の最大4軸同期制御により、半導体・計測工程の位置ズレを低減
A-81x PIglide モーションコントローラは、エアベアリングステージ用に設計された多軸対応の超精密モーション制御ソリューションです。 最大4軸までの制御を1台で可能とし、真空・非磁性環境下での運用にも対応。 ナノメートルスケールでの位置決めを可能とする高精度制御と、柔軟な構成が特長です。 EtherCATやアナログ信号による高速インターフェースに対応し、半導体リソグラフィ、顕微鏡ステージ、計測装置などの高度な産業用途にも適応。 安全機能や温度センサ入力も搭載し、信頼性の高い長時間運用を実現します。