EtherCAT対応の最大4軸同期制御により、半導体・計測工程の位置ズレを低減
A-81x PIglide モーションコントローラは、エアベアリングステージ用に設計された多軸対応の超精密モーション制御ソリューションです。 最大4軸までの制御を1台で可能とし、真空・非磁性環境下での運用にも対応。 ナノメートルスケールでの位置決めを可能とする高精度制御と、柔軟な構成が特長です。 EtherCATやアナログ信号による高速インターフェースに対応し、半導体リソグラフィ、顕微鏡ステージ、計測装置などの高度な産業用途にも適応。 安全機能や温度センサ入力も搭載し、信頼性の高い長時間運用を実現します。
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基本情報
・1軸、2軸、4軸タイプ ・クローズドループサーボ制御、アンプモジュール、電源を統合 ・ボイスコイルドライブ、DCモーター、ブラシレス3相モーター用 ・静音PWMドライブ ・エンコーダ：インクリメンタル、アブソリュート ・出力電流：1軸あたり最大Cont. 10A/Peak 20A ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・用途・実績例 ・半導体製造装置におけるウエハー搬送・整列工程 ・X線ナノイメージングシステムにおける試料位置決め ・顕微鏡ステージ制御（原子間力顕微鏡、共焦点顕微鏡） ・計測機器における高精度スキャン制御 ・クリーンルームや真空チャンバー内での多軸位置決め ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。
