縦型5軸ステージ(xy軸) - 企業1社の製品一覧

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

高精度リニヤステージ　縦型5軸ステージ

縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び 　チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• 企業：株式会社ウイング
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置