高精度リニヤステージ 縦型5軸ステージ
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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企業情報
半導体関連装置の開発業務に従事して来た経験を生かし 大手企業では難しい短期間での開発業務及び CostPerformanceを展開すべく 少人数の生産技術経験者にて設立しました。 動機としては、我々の持つアイデアを生かして市場に参入し 世界に通用するJapanese production を広め 衰退気味の『物作り日本』を復活すべく、事業を起す事にしました 大企業ができないような安価で短納期に対応した 精密スライド機構の開発・供給にチャレンジしております