ラインスキャン膜厚計 オフライン（ウェーハ対応タイプ）
ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現！
半導体の研究開発や生産現場において、ウェーハ基板上の薄膜を全面測定できる装置です。 独自の分光干渉法と新たに開発した高精度膜厚演算処理技術を組み合わせることで、12inchウェーハの面内分布を高速に測定することが可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
膜厚測定器(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧
膜厚測定器の製品一覧
1～9 件を表示 ／ 全 9 件
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膜厚測定装置『LF-1000』
ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置
『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの 設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。 本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 非接触で、透明もしくは半透明の薄膜の膜厚、屈折率及び吸収係数を簡単に 自動測定及びマッピング処理する事が出来ます。 【特長】 ■ウェハ・ガラス基板だけでなく、その他の鏡面基板上の膜厚測定が可能 ■膜の光学定数を設定する事で、各種の膜厚測定が測定可能 ■薄膜酸化膜、SOI、EG膜、カラーフィルター等の測定に優れる ■標準として3・4・5・6・8・12インチウェハに対応したオートステージ ■ローダ仕様にもオプションで対応可能(カセット・FOUP、ポート数にも応相談） ■測定ヘッド仕様よって、薄膜から厚膜の膜厚測定に対応 ■GEM通信はオプション ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ラポールシステム
- 価格：応相談
【半導体成膜管理向け】SM-100 series
持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけずに測定
半導体業界の成膜管理においては、高品質な製品を安定的に製造するために、膜厚の正確な測定が不可欠です。特に、薄膜の成膜プロセスにおいては、膜厚のわずかな差異が製品の性能に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のばらつきや精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。SM-100 seriesは、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能で、基材を選ばず、形状のあるサンプルも非破壊で膜厚を測ることができます。 【活用シーン】 ・半導体製造工程における成膜プロセスの品質管理 ・研究開発における薄膜材料の評価 ・製造現場での迅速な膜厚測定 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・不良品の削減
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：100万円 ~ 500万円
【ディスプレイ業界向け】SM-100 series
ディスプレイ製造における膜厚測定の課題を解決！
ディスプレイ業界では、製品の品質を左右する膜厚の均一性が重要です。特に、薄膜の均一性は、表示性能や耐久性に大きく影響します。膜厚測定の際に、「測りたい“その場”ですぐに測れない」「人によってバラつく測定結果」「測定精度が悪い」といった課題を抱えている企業も少なくありません。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、高品質なディスプレイ製造をサポートします。 【活用シーン】 ・ディスプレイ製造工程における膜厚測定 ・品質管理部門での膜厚検査 ・研究開発部門での薄膜評価 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果の安定化 ・品質管理の向上
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
【光学部品向け】SM-100 series 膜厚測定装置
反射防止膜の膜厚測定に！ハンディタイプの膜厚計
光学部品業界では、製品の性能を左右する反射防止膜の正確な膜厚測定が求められます。特に、光の透過率や反射率を精密に制御する必要がある場合、膜厚のわずかな差異が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。測定結果のバラつきや測定精度の低さは、歩留まりの低下や不良品の増加につながりかねません。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、最薄0.1μmまで検量線不要で膜厚測定が可能です。光学部品の製造プロセスにおける膜厚測定の課題を解決します。 【活用シーン】 ・反射防止膜の膜厚測定 ・光学フィルターの膜厚測定 ・レンズコーティングの膜厚測定 【導入の効果】 ・測定結果の信頼性向上 ・歩留まりの改善 ・品質管理の効率化
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
【精密機械向け】膜厚測定装置 SM-100 series
表面処理の膜厚測定を、手軽に、高精度に。デモ機無料貸し出し中！
精密機械業界の表面処理工程では、製品の品質を左右する膜厚管理が重要です。均一な膜厚は、耐摩耗性、耐食性、外観品質を向上させるために不可欠です。しかし、従来の測定方法では、測定場所の制約、測定結果のばらつき、測定精度の問題といった課題がありました。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、表面処理工程における膜厚測定の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 * 金属部品の塗装膜厚測定 * プラスチック部品のコーティング膜厚測定 * 電子部品の表面処理膜厚測定 * 研究開発における膜厚評価 【導入の効果】 * 測定時間の短縮 * 測定結果の安定化 * 品質管理の向上 * 不良品の削減
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
【包装業界向け】膜厚測定装置 SM-100 series
包装材のバリア性を左右する膜厚を、非破壊で手軽に測定！
包装業界では、製品の品質保持のため、包装材のバリア性が重要です。特に、酸素や水分の透過を防ぐための膜厚管理は、製品の賞味期限や品質に大きく影響します。膜厚測定の測定結果のバラつきや測定精度の悪さは、品質管理上の課題となります。SM-100 seriesは、これらの課題を解決し、正確な膜厚測定を実現します。 【活用シーン】 ・食品包装、医薬品包装、工業製品包装におけるバリア性評価 ・包装材メーカーでの品質管理 ・研究開発部門での材料評価 【導入の効果】 ・非破壊測定によるサンプルへの影響を最小限に ・迅速な測定による工程管理の効率化 ・測定結果の安定化による品質向上
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
【医療機器向け】膜厚測定装置 SM-100 series
生体適合性材料の膜厚測定に。ハンディタイプの膜厚計
医療機器業界では、インプラントや医療用デバイスのコーティングなど、生体適合性材料の膜厚管理が製品の安全性と性能を左右する重要な要素となります。特に、材料の均一な膜厚は、生体組織との親和性や耐久性に大きく影響し、不適切な膜厚は、製品の早期劣化や拒絶反応を引き起こす可能性があります。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、測定したい場所ですぐに膜厚を測定できます。最薄0.1μmまで検量線不要で測定可能で、非破壊で測定できるため、サンプルを傷つける心配もありません。これにより、品質管理の効率化と精度の向上が期待できます。 【活用シーン】 ・インプラント表面のコーティング膜厚測定 ・医療用デバイスのコーティング膜厚測定 ・生体適合性材料の研究開発 【導入の効果】 ・測定時間の短縮 ・測定結果のばらつきを抑制 ・非破壊測定によるサンプルへの影響を軽減
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
【航空宇宙向け】SM-100 series 膜厚測定装置
耐熱コーティングの膜厚測定に！非破壊で測定可能
航空宇宙業界では、耐熱性コーティングの品質管理が重要です。高温環境下での部品の性能を維持するためには、コーティングの膜厚が均一で、適切な厚さを保っている必要があります。膜厚が不均一であったり、薄すぎると、熱による劣化が早まり、部品の寿命を縮める可能性があります。逆に厚すぎると、重量が増加し、燃費効率が悪化する可能性があります。SM-100 seriesは、持ち運び可能なハンディタイプで、非破壊で膜厚を測定できます。これにより、航空宇宙部品の品質管理を効率化し、製品の信頼性向上に貢献します。 【活用シーン】 ・耐熱コーティングされた航空機部品の膜厚測定 ・ロケットエンジンの耐熱材の膜厚測定 ・宇宙ステーションの断熱材の膜厚測定 【導入の効果】 ・非破壊測定による検査時間の短縮 ・測定結果のばらつきを抑制 ・品質管理の向上による製品信頼性の向上
- 企業：大塚電子株式会社
- 価格：応相談
