自動スピン洗浄装置
クリーンユニット搭載の自動スピン洗浄装置
オプション内容を選んで頂くクリーンユニット搭載のカセット式自動装置(写真はスクラブ洗浄+UV洗浄＋ホットプレート) =============================================== ＜仕 様＞ ワークサイズ…Φ2インチ〜Φ8インチ 搬送…大気3軸クリーンロボット クリーンユニット…ＨＥＰＡフィルター 洗浄…ブラシ、MS標準装備 オプション…高圧ジェットノズル、UV、エキシマ、ホットプレート等 ユーテリティ…電源、圧空、窒素、純水、排気、廃液、他
- 企業：株式会社トービ
- 価格：応相談
