自動搬送露光装置 - メーカー・企業と製品の一覧

自動搬送露光装置

搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！

ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。

• 企業：ウシオライティング株式会社
• 価格：応相談

• ステッパー