搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能!
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。
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基本情報
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。 搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用できます。 ※詳細はカタログダウンロードの上、お問合せ下さい。
価格情報
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納期
用途/実績例
露光分野
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企業情報
半世紀以上にわたる歴史のなかで、磨きつづけてきた技術力と製品力。 これらにウシオ独自の提案力を融合させ、 次代を切り拓くソリューションとして社会と市場に提供します。 今後さらなる進化が期待される光と産業のビジネスドメインで、 私たちは、持てるすべての力を最大限に発揮し、 お客さまと社会の発展に貢献します。