搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能！
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。
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基本情報
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。 搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用できます。 ※詳細はカタログダウンロードの上、お問合せ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
露光分野
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企業情報
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