自然冷媒チラー『RJ-CA型』
自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置 向けノンフロンチラー
『RJ-CA型』は、自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置 向けチラーです。 超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により 省スペース・省エネ化をはかることが可能。 また、±0.1℃の温度制御が可能となりプロセスの安定性向上 及び歩留まり向上へ貢献します。 【特長】 ■自然冷媒(CO2)採用(GWP＝1) ■精密温度制御 ■省エネ ■省スペース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：株式会社荏原製作所
- 価格：応相談
