自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置 向けノンフロンチラー
『RJ-CA型』は、自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置 向けチラーです。 超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により 省スペース・省エネ化をはかることが可能。 また、±0.1℃の温度制御が可能となりプロセスの安定性向上 及び歩留まり向上へ貢献します。 【特長】 ■自然冷媒(CO2)採用(GWP＝1) ■精密温度制御 ■省エネ ■省スペース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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荏原製作所風水力機械カンパニーは、安全・安心な社会を支え、快適で豊かな暮らしを創造するために、オフィスビルやマンション、工場、各種施設をはじめとする多彩なフィールドで、ポンプや送風機、さらには社会生活や産業の基盤となる機器やシステムの販売、メンテナンスを積極的に展開しています。