自然冷媒チラー『RJ-CA型』

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最終更新日：2025年05月29日

株式会社荏原製作所

自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置向けノンフロンチラー

『RJ-CA型』は、自然冷媒(CO2)を採用した半導体製造装置向けチラーです。超小型キャンドポンプ内蔵・荏原のインバータ制御技術により省スペース・省エネ化をはかることが可能。また、±0.1℃の温度制御が可能となりプロセスの安定性向上及び歩留まり向上へ貢献します。【特長】 ■自然冷媒(CO2)採用(GWP＝1) ■精密温度制御 ■省エネ ■省スペース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。