６自由度アクティブ除振システム
除振性能、安定性で選ぶなら、 空気圧制御式アクティブ除振システム
明立精機MAPSシリーズのアクティブ除振 システムはコンパクトな形状の中に垂直用と 水平用の空気圧アクチュエータを組み込ん だユニットタイプです。4ユニット使用するこ とにより、全自由度の振動に対して優れた 除振性能、制振性能、位置決め性能を発 揮します。 −− 特 徴 −− ●小型でも全自由度の振動に対応 ●標準MAPSで10トン以上の装置を除振可能 ●ステージ等の稼働する装置を搭載しても揺れません ●パッシブ除振では難しい帯域の振動もカット ●MAPSは位置決め精度、レベル精度に優れています
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
