除振ユニット - メーカー・企業4社の製品一覧とランキング
除振ユニットの製品一覧
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６自由度アクティブ除振システム
除振性能、安定性で選ぶなら、 空気圧制御式アクティブ除振システム
明立精機MAPSシリーズのアクティブ除振 システムはコンパクトな形状の中に垂直用と 水平用の空気圧アクチュエータを組み込ん だユニットタイプです。4ユニット使用するこ とにより、全自由度の振動に対して優れた 除振性能、制振性能、位置決め性能を発 揮します。 −− 特 徴 −− ●小型でも全自由度の振動に対応 ●標準MAPSで10トン以上の装置を除振可能 ●ステージ等の稼働する装置を搭載しても揺れません ●パッシブ除振では難しい帯域の振動もカット ●MAPSは位置決め精度、レベル精度に優れています
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
アクティブ除振システム『MEシリーズ』
3次元(6自由度)でコントロール！搭載物に左右されない除振性能を有します
『MEシリーズ』は、搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵の アクチュエータで逆位相の力を加える事で振動を制御できる除振システムです。 アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は、明立精機オリジナルの 制御システムにより自動で最適化。 装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を 落とさずご利用いただけるようになりました。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■3次元(6自由度)でコントロール ■自動アクティブ調整＆自動レベリング ■搭載物に左右されない除振性能 ■ハニカム光学定盤搭載可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」 EMC対策タイプ
パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を発揮。小型コンプレッサーと電源さえあれば使用可能です。
リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」は、独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。 荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフロアー・フィード・フォワード制御により、世界最高水準の除振性能を提供できます。 【特徴】 ○優れた応答性 ○空気源が少ない ○高いコストパフォーマンス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社昭和サイエンス
- 価格：応相談
アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」
従来品と同じ性能でスリム化を実現！空圧アクティブ除振ユニット
アクティブ除振ユニット 「VAAV-H」は、VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。 独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュエータにより瞬時に振動を打ち消します。 床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達成しました。 【特徴】 ○VAAV-Aシリーズと同性能でありながら、装置の全高を低く抑えることが可能 ○空圧制御により全方向の変位、位置制御が高精度で可能 ○大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能 ○CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラSAC-07） ○ステージフィードフォワード機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社昭和サイエンス
- 価格：応相談
技術資料「除振とは・・・パッシブ除振台の概要」
除振台種類と主要部品のご紹介と除振台構成例と除振台の特性例を記載しています。
＝掲載内容＝ １．除振台の除振効果 ２．除振台の衝撃応答 ３．防振材の種類と性能 3-1防振材の種類別特徴⽐較 3-2空気ばね（ベローズ型）タイプ 3-3空気ばね（ダイヤフラム型）タイプ 3-4コイルスプリングタイプ 3-5防振ゴムタイプ ４．⾃動レベル調整器 ５．除振効果の測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社昭和サイエンス
- 価格：応相談
【事例】液晶基板検査装置のアクティブ除振対策
エアサーボアクティブ除振装置で対策！全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました
液晶基板検査装置のアクティブ除振対策事例をご紹介します。 大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を 事前調査したところ許容値を超えていました。 本測長機は光学的にパターンの線幅を観測するもので振動環境に対して 敏感なため、エアサーボアクティブ除振装置で対策を実施。 アクティブ除振対策後は、装置の振動許容値をクリアし、 また全周波数域に亘って良好な振動環境を構築することができました。 【事例概要】 ■課題：大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の 振動環境を事前調査したところ許容値を超えていた ■対策：エアサーボアクティブ除振装置を設置 ■効果：装置の振動許容値をクリアし、また全周波数域に亘って 良好な振動環境を構築することができた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：特許機器株式会社
- 価格：応相談
除振装置 卓上型空気ばね式除振装置AVTシリーズ
精密機器の付属品のように手軽に扱える除振装置です。
大型高性能除振装置がもつ機能のすべてをコンパクトなサイズに集約。そして精密機器の特徴や除振ニーズにベストフィットするよう16機種を用意。精密機器の付属品感覚で高性能な除振スペースを手軽に構築することができます。 一段と性能を強化した小型特殊空気ばねシステムを採用。 小スペースで除振装置が使用できます。
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
除振装置 デスク型空気ばね式除振装置ADZ-Aシリーズ
コストパフォーマンス、除振性能、操作性を高次元で統合したニューモデル
多くの納入実績をもつADZシリーズ。そこに流れる設計思想を継承し、お客様の要望の1つ1つに新たな解答をプラスしたフルモデルチェンジ型です。除振性能のさらなる向上、作業の快適性を大幅に改善、より大きな搭載盤サイズの追加、搭載機器の操作性を向上させる豊富なオプション群。これらが相まって搭載機器の種類や使用場所を選ばない、ハイコストパフォーマンスな除振装置を実現しました。
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
除振装置 空気ばね式除振装置APシリーズ
精密機器の個性に合わせた最適な除振システムが低コストで構成できます。
空気ばね式除振装置APシリーズ 除振装置には、優れた性能はいうまでもなく、よりフレキシブルであることが重視されます。それは、精密機器の個性に合わせた最良の除振システムを、直接機器に組み込むことが多くなってきたからです。こうしたニーズに即応できる除振システム、それがＡＰシリーズです。余裕ある機能に加えて、拡張性も充分。より理想的な振動環境を、この除振システムが実現します。
- 企業：明立精機株式会社
- 価格：応相談
除振装置『除振パレット』
粘性ダンパーで減衰が大きいので共振の影響が出にくい！シンプル構造の除振装置
『防振（除振）パレット』は、コイルばねによるばね機構と粘性ダンパーによる 減衰機構を一体化させたシンプルな構造の除振装置です。 粘性体にコイルバネを入れることで減衰効果を高めます。 また、ゴムガイドにより、ストッパー部に衝突の際にも衝撃を抑え ゴム蛇腹により、水平方向の動作を制御します。 【特長】 ■減衰機構を一体化させたシンプルな構造 ■粘性体にコイルバネを入れることで減衰効果を高める ■ゴム蛇腹により、水平方向の動作を制御 ■共振の影響が出にくい ■搬送時の振動を大幅に緩和 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社エーエス
- 価格：応相談
