3次元(6自由度)でコントロール！搭載物に左右されない除振性能を有します
『MEシリーズ』は、搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵の アクチュエータで逆位相の力を加える事で振動を制御できる除振システムです。 アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は、明立精機オリジナルの 制御システムにより自動で最適化。 装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を 落とさずご利用いただけるようになりました。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■3次元(6自由度)でコントロール ■自動アクティブ調整＆自動レベリング ■搭載物に左右されない除振性能 ■ハニカム光学定盤搭載可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ■搭載板の振動を常時モニタリングし、内蔵のアクチュエータで逆位相の力を加える事で振動制御 ■アクティブ制御に不可欠なゲイン調整は明立精機オリジナルの制御システムにより自動で最適化 ■装置構造を見直す事により小型SPMのような軽量の搭載物でも除振性能を落とさず利用可能 ■搭載盤を高剛性スチールハニカム光学定盤に変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
除振装置の専門メーカー。商標「ＶＩＳＯＬＡＴＯＲ」アクティブ除振システムＭＡＶＩ，ＭＡＰＳ発売開始。98年ＩＳＯ９００１認証取得。