パッシブ除振台では除ききれない低周波数の振動を嫌う顕微鏡において効果を発揮。小型コンプレッサーと電源さえあれば使用可能です。
リニアアクティブ除振ユニット 「VAAV-S」は、独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、空気を使用しない超高速応答のリニアアクチュエータと超高感度速度センサにより、瞬時に振動を打ち消します。 荷重支持のみ空気ばねを使用するため、小型コンプレッサーと電源さえあれば床側にも配備した超高感度速度センサを使用したフロアー・フィード・フォワード制御により、世界最高水準の除振性能を提供できます。 【特徴】 ○優れた応答性 ○空気源が少ない ○高いコストパフォーマンス 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○制御自由度 ３軸６自由度 ○位置精度 ±1000μm ○所要空気源 0.5MPa以上 消費流量はパッシブと同等 ○所要電源 AC 100V～240V （50/60Hz） 200W ○制御方式 速度フィードバック、フロアフィードフォワード ○最大推力 水平方向 ： 20N 垂直方向 ： 40N 注）4ユニット/台として使用時 ○発生磁界 0.04μT以下 注）ユニットから150mm離れた位置での交流磁界 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○電子顕微鏡 ○走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など ○低周波振動の大きい設置床環境の除振対策 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
昭和サイエンスは、1974年に将来の超精密機器が設置環境から受ける振動障害を取り除く「除振」という技術とその技術を駆使した除振システムを提供していこうと産声を上げた企業です。創立後、国内外における半導体産業の成長に併走しながら様々なお客さまや市場のニーズに支えられ活動を展開してまいりました。現在では、除振システム事業、建築防振工事事業、建築設備防振事業、船舶制振工事事業、検査装置事業、光学・精密機器事業へと幅を広げて参りました。除振台、防振台、空気ばね、防音ボックスのことなら昭和サイエンスにお任せください。